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如何選購勻膠機

[2016/7/21]

從其原理來說,我們可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)

1、 旋轉(zhuǎn)速度:轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速如果誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。一般國產(chǎn)的勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能精確標定實時的轉(zhuǎn)速。進口的勻膠機雖然大部分能標定轉(zhuǎn)速,但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有國際標準認定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有國際認定標準的,比如:美國NIST標準等。

2、 真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

真空泵一定要無油的,壓力標定準確。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題,這一點許多國外的勻膠機做得不錯,他們有通過聯(lián)動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉(zhuǎn)。

3、 材質(zhì)的選擇

對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),因為這種材質(zhì)的成本很低,不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導(dǎo)致旋涂時,時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。


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